FL-SEM
蛍光顕微顕と電子顕微鏡を組み合わせた相関顕微鏡。完全自動化された試料搬送が特徴です。
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CT-SEM
レーザーによる試料掘削と電子顕微鏡の高解像度観察を組み合わせたシステム。ナノメートルオーダーで試料を3次元化可能です。
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CD-SEM
世界最小クラスの高分解能・超高真空SEM。クラウドによる遠隔操作などソフトウェア面も充実。
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各種装置
TCKの強みとする半導体関連装置の制御ユニットや電子線源、真空装置、バイオ関連では細胞活性化装置等を取り揃えています。
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