製品ラインナップ
FL-SEM/CT-SEM
CD-SEM
| エミッター | ZrO/W |
| 加速電圧 | 1 ∼ 5kV （連続可変） |
| 分解能 | 10nm |
| 倍率 | ×50 ∼ ×500,000 |
| 試料サイズ | 0.5インチ |
| ステージ構成 | X-Y-Z-R 自動 |
| ステージ精度 | 繰り返し位置決め ±0.1um |
| ステージ一検出 | リニアエンコーダ 0.01um |
| 排気系 | ドライ排気系 |
| 試料搬送 | 完全自動 |
電子線描画装置
代表的な仕様
| 加速電圧 | 1 ∼ 30kV （SEM基本仕様による） |
| 試料サイズ | 最大2インチ(SEM基本仕様による） |
| 最小線幅 | 0.1um |
| ステージ構成 | X-Y 2軸自動 Z軸手動 （自動：オプション） |
| ステージ精度 | 繰り返し位置決め±0.1um |
| ステージ位置検出 | リニアエンコーダ0.01um |
| 特徴 | 観察機能との併用 GUI / CAD標準装備 |
 |
 |
JSM5000/6000シリーズは日本電子(株)の製品です。
SPIDER (非共振型)
仕様
| 駆動源 | 圧電素子 |
| 素子構成 | 剪断素子4層伸縮素子4層 |
| 分解能 | 0.6nm以下 |
| 最大速度 | 50mm/s |
| 速度分解能 | 速度の0.1％以下 |
| 特徴 | 非磁性対応, 真空対応 |
| その他 | 専用コントローラ |
各種真空装置
各種真空装置
- スパッタリング装置
- 有機デバイス製作装置(抵抗加熱蒸着装置)
- レーザーアブレーション装置(PLD装置)
- 熱CVD装置 など
| オプション | 基板サイズ |
| 基板加熱、冷却等 | |
| 試料搬送機構 | |
| ガス導入系 | |
| 排気系 | |
| 制御システム | |
| 架台など |
ご要望に合わせて設計・製作致します
各種真空チャンバ・架台
仕様(例)
| 真空チャンバー | |
|---|---|
| サイズ | φ 406ICF(高さ550㎜) |
| 材質 | SUS304 |
| 表面処理 | 電解研磨 |
| 備考 | Oリング式 前扉 シャッター付ビューポート |
| 架台 | |
| サイズ | 580(W)×945(H)×700(D) |
| 材質 | SS400 |
| 塗装 | 茶色焼付塗装 |
| 備考 | 高さ調整範囲(920~970) |
上記以外にも角型・丸形、ポート数などご要望に合わせて設計・製作致します。
真空機器
真空機器各種
- 真空フランジ/変換フランジ【ICF,NW,VG(VF),各種継手】
- ニップル/変換ニップル【ICF,NW、VG(VF),各種継手】等
- ビューポート(各種ICFサイズ)
- あおり機構、基板加熱ヒーター/電源、基板ホルダー
- LN2トラップ 、バッキングプレート
- その他(金属加工品)等
データ I/Fボード
仕様
| ボード形式 | VMEダブルサイズ |
| 対応装置 | レーザー干渉計I/F レニショー（株）製RLE-20 |
| 軸構成 | XY 2軸 |
| 分解能 | 0.3 , 0.15 , 0.07 , 0.03 nm 選択 |
| 特徴 | アジレントテクノロジー社製 A10897/10898とソフトウェア互換 |
真空対応精密ステージ
仕様
| 駆動源 | 5相駆動型ステッピングモータ |
| 軸構成 | XYZ 3軸 |
| 測長 | リニアエンコーダ |
| 分解能 | 最小0.01 μm |
| 材質 | アルミニウム主体 |
| 環境 | 大気 ∼ 10-5Pa（高真空領域） |
| 制御系 | 弊社コントローラ対応 |
大型精密ステージ
仕様
| 駆動源 | リニアモータ、ステッピングモータ、 ピエゾモータ等から選択可能 |
| 測長 | リニアエンコーダ、レーザー干渉計等から選択可能 |
| 分解能 | 最小0.6nm |
| 材質 | アルミナセラミックス |
| 環境 | 大気 ∼ 10-5Pa（高真空領域） |
| 制御系 | 弊社コントローラ対応 |
ステージコントローラ
仕様
| 駆動源 | 5相駆動型ステッピングモータ | |
| 軸構成 | 最大4軸 | |
| 分解能 | モータのみ | 最小10nm |
| PZT併用 | 最小 1nm | |
| 制御形態 | 位置サーボ構成 | |
| モータのみ | PI型サーボ | |
| PZT併用 | PI+ST-Ｏbserver | |
| 外部制御 | TCP/IP, RS-232C | |
電磁波シールドユニット
仕様
| 対応SEM | 日本電子（株）製 JSM5000/6000シリーズ |
| 材質 | パーマロイ |
| 減衰率 | 1/20以下 |
| 重量 | 2.6 kg |
JSM5000/6000シリーズは日本電子(株)の製品です。