CD-SEM

  • 特徴
  • 仕様
  • アプリケーション

ミニマル規格に準拠した測長機能付きSEM

ショットキーエミッション電子銃による高解像度パターン観察精密自動ステージによる試料位置管理完全ドライ真空によるクリーン観察

特長

ミニマルCD-SEM

ショットキーエミッション電子銃
安定した照射電流と、高解像度を実現します。
超高真空対応の自動搬送機構
ミニマルPLADによる自動搬送方式なので、試料搬送開始ボタンを押下後は、精密ステージに試料がセットされ直ぐに観察できます。
完全ドライ真空
真空排気系にDiaphragm Pump / Turbo Molecular Pump及びSputtering Ion Pumpを採用しているので、クリーンな真空環境化での観察が可能です。
精密自動ステージ
X/Y/Z/Rの4軸精密ステージをチャンバーに内蔵。
全軸に測長ユニットを装備しているので、高精度位置決め、高精度計測が可能です。
コンパクトボディー
必要な時に必要な場所で装置を立ち上げて観察・測定ができるレイアウトフリーな可搬型SEMです。
最小用力
AC100V/4Aあればどこでも装置立ち上げができる省電力なSEMです。
装置インテグレーション
EBアタッチメントによる電子線描画装置化、EDSアタッチメントによる元素分析装置化など、いろいろな装置に進化可能です。

ミニマルCD-SEM

特長

ミニマルCD-SEM(シィ・ディ・セム、Critical Dimension-Scanning Electron Microscope)は、電子顕微鏡の中でもウエハパターンの寸法計測に特化したものです。本装置の特徴は、幅297mm、奥行き459mm、高さ1,440mm、120kgと移動可能なサイズ・重量であり、AC100Vの家庭用電源で動作可能でありながら、ファブレベルの高分解能/超高真空を実現していることが挙げられます。

ミニマルCD-SEM
幅：297mm　奥行き：450mm　高さ：1,440mm　重量：120kg　用力：AC100V/4A

ポータビリティを高める多様な通信方法

本装置のポータビリティを高めるため、装置の操作面でも、USB・LANケーブルによるPCへの接続のほか、赤外線インターネットを介したクラウド接続など、多様な通信方法を実現しています。

主な仕様

エミッター ZrO/W
加速電圧 1 ∼ 5kV　（連続可変）
分解能 10nm
倍率 ×50 ∼ ×500,000
試料サイズ 0.5インチ
ステージ構成 X-Y-Z-R 自動
ステージ精度 繰り返し位置決め　±0.1um
ステージ一検出 リニアエンコーダ　0.01um
排気系 ドライ排気系
試料搬送 完全自動

アプリケーション

デバイス評価

ミニマルCD-SEMを用いて、レジストパターンの寸法計測を行っています。シンプルで直感的な専用ソフトによって、デバイス細線の寸法と高さを計測することが可能です。

専用ソフトでの操作画面 100倍 専用ソフトでの操作画面 10,000倍 専用ソフトでの操作画面 CD計測画面

専用ソフトでの操作画面。左から、100倍、10,000倍、CD計測画面。

デバイス加工

EB機能(アタッチメント)を用いたシリコン基板上のレジストパターンサンプル。

EB機能(アタッチメント)を用いたシリコン基板上のレジストパターンサンプル

使用レジスト：ZEP520A（ゼオン）